近年來，X射線熒光光譜技術(shù)飛躍發(fā)展，在多項(xiàng)核心技術(shù)取得突破，一種高靈敏度的X射線熒光光譜儀應(yīng)運(yùn)而生，它也可以稱為單波長激發(fā)-能量色散X射線熒光光譜儀，采用微焦斑X射線管，依靠全聚焦型雙曲面彎晶將X射線管出射譜中靶材高強(qiáng)特征射線單色化取出并聚焦到被測(cè)樣品點(diǎn)，由于單色化入射，避免了由于X射線管出射譜中連續(xù)軔致輻射造成的背景干擾，從而大幅提升被測(cè)元素?zé)晒馍渚€的信噪比，同時(shí)采用高分辨率硅漂移探測(cè)器窗口接近樣品測(cè)試點(diǎn)，取得樣品中元素?zé)晒馍渚€的極大立體角，進(jìn)一步提升元素?zé)晒馊肷涞教綔y(cè)器的射線強(qiáng)度。

　　高靈敏度X射線熒光光譜儀原理：

　　X射線光管出射譜由靶材的特征X射線分立譜以及軔致輻射連續(xù)譜組成，這些射線入射到樣品中，激發(fā)樣品中元素特征X射線的同時(shí)，又會(huì)產(chǎn)生入射譜的康普頓散射和瑞利散射，探測(cè)器同樣會(huì)接收到這些散射背景，從而造成了連續(xù)背景信號(hào)的干擾，降低了元素檢測(cè)的峰背比，使樣品中微量或痕量元素難以被檢出。

　　X射線管出射譜由連續(xù)譜線和特征譜線組成，全聚焦型雙曲面彎晶僅衍射X射線光管出射譜中的高強(qiáng)度特征X射線，從而入射到樣品的X射線具有很好的單色性，因此從樣品出射的X射線除了樣品中的元素被激發(fā)產(chǎn)生的熒光X射線（線光譜）和單色入射線的瑞利散射和康普頓散射以外，不存在連續(xù)散射背景，從而保證待測(cè)元素特征線具有極低的背景干擾，被激發(fā)元素的熒光X射線用SDD（硅漂移探測(cè)器）檢測(cè)，得到高分辨和高靈敏度的測(cè)試結(jié)果。

　　高靈敏度X射線熒光光譜儀具備傳統(tǒng)光譜儀無損、快速、多元素同時(shí)分析等特點(diǎn)，同時(shí)又具備高靈敏度的特點(diǎn)，其將X射線熒光的應(yīng)用領(lǐng)域不斷延伸，除了傳統(tǒng)X射線應(yīng)用領(lǐng)域外，新的領(lǐng)域成為高靈敏度X射線熒光光譜儀的市場，具有廣闊的市場前景。